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用語
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| 関連規格、指針、文献等 | 条項番号等 | 最終更新日 |
| EMO |
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| Emergency OFF |
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| SEMI緊急遮断用(EMO)スイッチ
SEMI規格は、半導体業界団体のガイドラインで、半導体業界では事実上国際標準に準じて扱われている。
SEMI 規格（S2 0706）12.1項“装置には「緊急遮断回路」（EMO回路：Emergency Off 回路）を設けるべきである。EMO アクチュエーター（ボタン）が作動すると、作業員や設備に対する新たな危険の発生を伴わずに、装置は安全状態に移行すべきである。”と規定されている。半導体プロセスでは危険もしくは有害なガス、薬品、溶剤が多く使用されているので、不用意に機械アクチュエータの動力まで遮断すると新たな危険が生じる恐れがあるためである。
EMO（緊急遮断スイッチ）は誤操作の恐れがある場合にはガードを設けることを容認し、非常停止押しボタンと同様に直接開路動作を有したスイッチであって、ボタンの色は赤色、地色（バックグランド）は黄色、操作部かバックグランドにEMOの表記をする。
【注意】 欧州機械指令、IEC規格とIECに対応するJIS規格にはない規定であることに注意して欲しい。 |
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| SEMI 規格（S2 0706）12.1 | 12.1 | 2024.01.21 |
